処理装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-181723
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005435
出願日： 2005年06月22日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】複数の移載室を並列して、連結処理室を介して精度良く連結することが容易であり、また、フットスペースが小さくてもより多くの処理室を備えることができる処理装置を提供する。【解決手段】処理装置1aは内部中央に基板3の搬送ロボット4を有し、平面形状が四角形状である移載室2a、2bを備える。移載室2a、2bの側壁面には2つずつのプロセスチャンバ6を備える。7は一方の移載室2aから他方の移載室2bに基板3を搬送する途中で、連結処理室6bに載置する待機時間を利用して、基板3の加熱処理を行う加熱手段等を備える連結処理室である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上面の形状が四角形であり、内部中央付近に基板の搬送ロボットを有する移載室と、該移載室の各側壁面には、複数のプロセスチャンバと、からなる処理装置であって、該搬送ロボットは、搬送ロボットの回動中心に対して放射線上、及び、回動方向への動作、又は、組合せにより基板を搬送することができることを特徴とする処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , B65G 49/06 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A , B65G49/06 Z , B65G49/07 D

Fターム (19件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA08 , 5F031FA01 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA44 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA50 , 5F031MA04 , 5F031MA07 , 5F031MA13 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA30 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平03-19252号公報

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