特許

J-GLOBAL ID：200903075038061718

結晶シート製造装置および結晶シート製造方法

発明者： 山下 善二郎 ,  矢野 光三郎
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044848
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249310
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】結晶シート厚および表面粗さの均一な結晶シートの生産性を向上するとともに、装置本体内の熱損失の小さい結晶シート製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 外周部に基体8を配設して成る回転体2を断熱部材13,14で断熱された複数の断熱小室19〜22を配置することによって装置本体内の熱損失を防ぎ、温度変化を少なくして加熱出力を抑えることができる。また複数の断熱小室内での作業を独立して並行に行い、最も生産性上の隘路となっていた剥離作業を、装置本体と切り離すことによって、効率低下要因を排除し、かつ回転体1式で取扱うことによって、飛躍的に生産性を向上することできる。また剥離作業にともなう衝撃の影響を受けずにシート生成を行うことができ、融液面の乱れ無くして高品質な結晶シートを製造することができる。

請求項（抜粋）：

金属または半導体材料の融液を坩堝に貯留し、基体を坩堝内に浸漬し、金属または半導体材料を前記基体表面で凝固成長させる結晶シート製造装置であって、複数の基体が外周部に配置される複数の回転体と、回転体を回転させて、各基体表面に結晶シートを凝固成長させるシート生成部と、前記シート生成部とは異なる位置にあり、シート生成完了後の回転体に対して、各基体に形成される結晶シートの剥離を行う剥離部とを有することを特徴とする結晶シート製造装置。

IPC (8件)：

C01B 33/02 ,  B22D 21/00 ,  B22D 23/04 ,  B22D 27/08 ,  B22D 29/00 ,  B22D 29/04 ,  B22D 45/00 ,  H01L 31/04

FI (8件)：

C01B 33/02 E ,  B22D 21/00 Z ,  B22D 23/04 Z ,  B22D 27/08 ,  B22D 29/00 G ,  B22D 29/04 Z ,  B22D 45/00 C ,  H01L 31/04 X

Fターム (12件)：

4G072AA01 ,  4G072BB02 ,  4G072BB12 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072HH01 ,  4G072MM38 ,  4G072NN01 ,  4G072UU02 ,  5F051AA03 ,  5F051CB04 ,  5F051CB30