特許
J-GLOBAL ID：200903075043713995
レプリカ回折格子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249525
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102407
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】超高真空中でベーキングに耐え得るレプリカ回折格子を作成すること。【構成】白金レプリカ回折格子の基板となる硝子11と、多数の平行溝を形成した表面金属膜との間に接着剤層10がある。表面金属膜として金9,クロム8,白金7の順になっていて、金9は白金7の下地膜としてクロム8は金9と白金7のバインダーとして同一真空で蒸着し、複数金属膜を一体化している。【効果】白金レプリカ回折格子は、真空紫外域において反射率が高く、200°Cまで耐熱性がある。
請求項（抜粋）：
硝子基板上に樹脂層及び金属膜よりなる回折格子において、金属膜を白金,クロム,金、と複数金属を一体化構造としたことを特徴とするレプリカ回折格子。
IPC (2件)：
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