特許

J-GLOBAL ID：200903075050318473

カラーフィルタの製造装置および製造方法

発明者： 土沼 健一 ,  浜村 清人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324410
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347634
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 高精度なパターンに形成し色むらの抑えられたカラーフィルタを製造する製造装置および製造方法。【構成】 凹版印刷版1を覆い9で覆うなどしてチャンバを形成し、そのチャンバ内に積極的に一定濃度の低沸点溶剤の雰囲気を溶剤揮発雰囲気供給器11で導入し、その一定濃度の雰囲気中でインキ3が部分的に乾くことを抑止しながらインキ3の塗布工程および転移工程を行なう。このようにインキ3が部分的に乾くことを抑止することでパターンが高精度で色むらが解消されたカラーフィルタを製造することができる。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタのパターンが刻設された凹版印刷版と、前記凹版印刷版に前記カラーフィルタを形成するためのインキを塗り拡げるスキージと、前記凹版印刷版の凹部には前記インキを残して前記凹版印刷版の表面の余分なインキを払拭するドクタと、前記凹版印刷版および前記スキージおよび前記ドクタを覆ってチャンバを形成する凹版印刷版覆いと、前記凹版印刷版覆いにより形成されたチャンバの内部に、前記インキに用いられる溶剤の沸点以下の沸点を有する溶剤の揮発雰囲気を供給する溶剤揮発雰囲気供給器と、前記凹版印刷版に保持されたインキが表面に転移され該表面に転移されたインキをさらに透明基板上に転写するブランケットとを具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。