特許

J-GLOBAL ID：200903075055656024

EH整合器、マイクロ波自動整合器、マイクロ波自動整合方法、半導体製造装置及び記録媒体

発明者： 余吾 鋭哉 ,  奥田 敦 ,  矢野 匡亮 ,  森 智之
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社 ,  島田理化工業株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264406
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233606
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】立体回路を小型化しながら十分な耐電力性を確保し得るEH整合器を提供する。【解決手段】EH整合器は、導波管14のE面にE分岐導波管20を接続し、H面にはH分岐導波管25を接続し、E分岐導波管20及びH分岐導波管25内に設けたショートプランジャ21,26を移動させることにより、導波管14と負荷とのインピーダンスを整合可能とする。H分岐導波管25には、導波管14に近接してEベンド30が形成される。

請求項（抜粋）：

導波管のE面にE分岐導波管を接続し、H面にはH分岐導波管を接続し、前記E分岐導波管及びH分岐導波管内に設けたショートプランジャを移動させることにより、導波管と負荷とのインピーダンスを整合可能としたEH整合器であって、前記H分岐導波管には、導波管に近接してEベンドを形成したことを特徴とするEH整合器。

IPC (3件)：

H01P 5/04 601 ,  H01P 1/28 ,  H05B 6/70

FI (3件)：

H01P 5/04 601 C ,  H01P 1/28 ,  H05B 6/70 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-264893
  
• 特開昭63-264893
  
• マイクロ波回路の自動チューニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-279275   出願人：株式会社ニッシン
• 特開平4-196903
  
• 特開平4-196903
  

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 「VSWR自動整合器」
• 「VSWR自動整合器」