特許

J-GLOBAL ID：200903075057623620

積層型圧電アクチュエータ

発明者： 東別府 誠 ,  鬼塚 克彦 ,  川元 智裕 ,  瀬戸口 剛 ,  芦田 幸喜
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183941
公開番号（公開出願番号）：特開2000-022228
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、高荷重印加状態での駆動においても、圧電板と金属薄板との剥離がなく、かつ変位量の低下を防止できる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板11と複数の金属薄板13とを交互に積層し、圧電板11と金属薄板13とを金属とガラスを主成分とする導電性接着剤14により加熱接合してなるとともに、金属薄板13を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、金属薄板13をFeとNiを主成分とする合金により形成し、金属薄板13と導電性接着剤14との界面にFeとSiを含有する複合酸化物からなる酸化防止膜17を形成した。

請求項（抜粋）：

複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを金属とガラスを主成分とする導電性接着剤により加熱接合してなるとともに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板をFeとNiを主成分とする合金により形成してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/083 ,  F02M 51/06

FI (2件)：

H01L 41/08 Q ,  F02M 51/06 N

Fターム (9件)：

3G066AB02 ,  3G066BA46 ,  3G066CC05U ,  3G066CD04 ,  3G066CD21 ,  3G066CD30 ,  3G066CE27 ,  3G066CE30 ,  3G066CE31

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 積層型圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-120033   出願人：京セラ株式会社
• 積層型圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-154792   出願人：化成オプトニクス株式会社, 三菱化学株式会社