特許
J-GLOBAL ID:200903075072522465

ディスプレイパネルの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-119448
公開番号(公開出願番号):特開2000-311604
出願日: 1999年04月27日
公開日(公表日): 2000年11月07日
要約:
【要約】【課題】 低コストで高品位な表示を可能とする。【解決手段】 基板13上に感光性被覆層(フィルム15,17)を形成する工程と、前記感光性被覆層に所定パターンの開溝部16を形成する工程と、少なくとも開溝部16の内部に隔壁材料を埋め込む工程と、前記感光性被覆層を除去し、所定の形状の隔壁18を得る工程を備え、前記感光性被覆層のリブパターン不形成領域12にハーフエッチングパターンの小溝14を形成することにより、剥離液で剥離する時間が基板全面にわたってほぼ同じとなり、製造時間を短縮化できる。
請求項(抜粋):
基板の上に感光性被覆層を形成する工程と、前記感光性被覆層に所定パターンの開溝部を形成する工程と、少なくとも前記開溝部の内部に溶射により隔壁材料を埋め込む工程と、前記感光性被覆層を除去し、所定の形状の隔壁を得る工程を備え、前記感光性被覆層のリブパターン不形成部分にハーフエッチングパターンを形成することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
IPC (3件):
H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02
FI (3件):
H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B
Fターム (9件):
5C027AA09 ,  5C040GA03 ,  5C040GF16 ,  5C040GF19 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040JA20 ,  5C040JA23 ,  5C040MA26

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