特許

J-GLOBAL ID：200903075078569218

電子放出素子の製造方法及びそれを用いた電子源基板、画像形成装置の製造方法及びその製造に用いる液滴付与装置

発明者： 重岡 和也 ,  三道 和宏 ,  長谷川 光利 ,  三島 誠治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049380
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251689
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 低コストで且つ容易に大面積に均一な表面伝導型電子放出素子及びそれを有する電子源基板、画像形成装置、及びそれらの再現性のよい製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁基板1上において、少なくとも一対の電極と、微粒子膜とからなる電子放出部を含む薄膜とで構成される表面伝導型電子放出素子において、金属含有溶液を液滴付与装置9を用いて素子を形成する工程で、金属含有溶液を液滴付与装置のノズル内に注入する際、脱泡した上記金属含有溶液をノズル内に注入して液滴を付与することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上において、少なくとも一対の電極と、電子放出部を含む導電性薄膜とで構成される表面伝導型電子放出素子において、金属含有溶液を液滴付与装置を用いて素子を形成する工程で、金属含有溶液を液滴付与装置のノズル内に注入する際、脱泡した上記金属含有溶液をノズル内に注入して液滴を付与することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/316 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 E ,  H01J 1/30 E ,  H01J 31/12 C

Fターム (9件)：

5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH08 ,  5C036EH26