特許

J-GLOBAL ID：200903075079496575

半導体装置及びその製造方法

発明者： 平野 有一 ,  前田 茂伸 ,  前川 繁登
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236814
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050767
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 ソース・ドレイン領域の面積を縮小しつつ、ソース・ドレインのコンタクトプラグと、ゲート電極との間に生じる寄生容量の増大を抑制し得る半導体装置及びその製造方法を得る。【解決手段】 ゲート電極1の下方にはチャネル領域が形成されており、チャネル領域を挟んで一対のソース・ドレイン領域2が形成されている。ソース・ドレイン領域2は、チャネル領域に隣接する第1部分3aと、ソース・ドレイン領域2の外周縁の一部が平面視上ゲート電極1から遠ざかるように、第1部分3aからチャネル幅方向に突出して形成された第2部分3bとを有している。また、第2部分3bには、ソース・ドレイン領域2とソース・ドレイン配線とを接続するためのコンタクトプラグ4が形成されている。

請求項（抜粋）：

半導体基板、絶縁層、及び半導体層がこの順に積層されたSOI基板と、前記半導体層内にそれぞれ選択的に形成されたドレイン領域及びソース領域、並びに前記ドレイン領域と前記ソース領域とによって挟まれるチャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極を有するトランジスタと、前記トランジスタ上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に選択的に形成されたドレイン配線及びソース配線と、前記層間絶縁膜内に選択的に形成され、前記ドレイン配線と前記ドレイン領域とを接続する第1の導電体と、前記層間絶縁膜内に選択的に形成され、前記ソース配線と前記ソース領域とを接続する第2の導電体とを備え、前記ドレイン領域は、前記チャネル領域に隣接する第1部分と、前記ドレイン領域の外周縁の一部が平面視上前記ゲート電極から遠ざかるように、前記第1部分から突出して形成された第2部分とを有し、前記第1の導電体は、前記ドレイン領域の前記第2部分に接続されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/336

FI (13件)：

H01L 21/316 G ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 616 T ,  H01L 21/90 D ,  H01L 27/08 321 F ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 L ,  H01L 29/78 301 X ,  H01L 29/78 613 A ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 617 J

Fターム (102件)：

5F033GG03 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK01 ,  5F033KK25 ,  5F033LL04 ,  5F033NN11 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033SS11 ,  5F033VV04 ,  5F033VV05 ,  5F033XX24 ,  5F040DA10 ,  5F040DA11 ,  5F040DA12 ,  5F040DB03 ,  5F040DC01 ,  5F040EB12 ,  5F040EC01 ,  5F040EC07 ,  5F040EC13 ,  5F040EF02 ,  5F040EF03 ,  5F040EH02 ,  5F040EH08 ,  5F040EJ03 ,  5F040EK05 ,  5F040FA03 ,  5F040FA05 ,  5F040FA07 ,  5F040FB02 ,  5F040FC03 ,  5F040FC10 ,  5F040FC19 ,  5F040FC20 ,  5F040FC21 ,  5F048AA00 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC01 ,  5F048BC06 ,  5F048BF06 ,  5F048BF16 ,  5F048BG05 ,  5F048DA23 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F058BC02 ,  5F058BF02 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BH20 ,  5F058BJ04 ,  5F110AA02 ,  5F110AA04 ,  5F110AA09 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110GG02 ,  5F110GG24 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK05 ,  5F110HK40 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL14 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110NN02 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN35 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19