特許
J-GLOBAL ID：200903075085080364
化学蒸着により窒化アルミニウムで被覆した部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-539937
公開番号（公開出願番号）：特表2003-515257
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2003年04月22日
要約：
【要約】ここに公開する化学蒸着(CVD)窒化アルミニウムで被覆した部材は、加熱部材、ウエハキャリヤ又は静電気チャックとして使用される。該部材は、窒化アルミミウム又は窒化ホウ素からなる基板(10)を有し、さらに、抵抗加熱(12、28)又は電磁チャック(30)或いはそれら両方として1つ以上の黒鉛要素(12)を有する。基板(10)とCVD窒化アルミニウム膜(16)の間に熱分解窒化ホウ素の層(14)を挿入することができ、該窒化ホウ素層は1つ以上の黒鉛要素(12)を含んでも含まなくてもよい。
請求項（抜粋）：
基板と該基板に隣接する熱分解黒鉛とを有する本体と、化学蒸着により形成した窒化アルミニウムの外膜とを有する部材であって、加熱要素、静電気チャック及びウエハキャリヤから選択された用途に使用され、該外膜は洗浄成分による化学的破壊作用から部材を保護する目的で施されている部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4K030BA02
, 4K030BA38
, 4K030CA01
, 4K030CA05
, 4K030DA06
, 4K030GA02
, 4K030GA12
, 4K030JA01
, 4K030KA47
, 4K030LA11
, 5F045AA08
, 5F045EM09
