特許

J-GLOBAL ID：200903075088037419

基板搬送装置

発明者： 小曳 信義
出願人/特許権者： 株式会社ジェーイーエル
代理人 (1件)： 砂場 哲郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-016385
公開番号（公開出願番号）：特開2006-205264
出願日： 2005年01月25日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 シングルアームの動作と連係して2本のチャックがそれぞれ独立して動作して基板等の搬送を行えるようにする。【解決手段】 チャックに所定の直進動作を付与して基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、ベルト7によって回転駆動されるハンド駆動プレート10と、ハンド駆動プレートの上下位置に配設されハンド駆動プレートの回転動作に追従して旋回可能であって先端にチャック21A,22Aが連結された第1リストブロック13,第2リストブロック15と、それぞれのリストブロックのアーム3に対する旋回方向を規制する第1ストッパピン35,第2ストッパピン36と、を有する。ハンド駆動プレートと第1リストブロック,第2リストブロックとは磁力結合されており、ハンド駆動プレートが旋回するとストッパピンで規制されない方向についてはリストブロックも磁力結合によってハンド駆動プレートと同時に旋回する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

搬送アームの先端の関節部を介して設けられた先端ハンド上に基板を載置保持させて、前記搬送アームを回転駆動軸回りに旋回させるとともに、前記先端ハンドに所定の直進動作を付与して前記基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、 前記先端ハンドは、前記搬送アーム先端に設けられ回転力を伝達可能な軸保持部材に支持され所定方向に回転可能なハンド駆動部材と、該ハンド駆動部材の上下位置に配設され、前記先端ハンドが先端に連結され、前記ハンド駆動部材の回転動作に追従して旋回可能なハンド根元部材とを有し、前記ハンド駆動部材と前記ハンド根元部材とを磁力吸着して、前記ハンド駆動部材からの回転力が前記ハンド根元部材に直接伝達されるようにしたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

B25J 17/02 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677

FI (4件)：

B25J17/02 D ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 C ,  H01L21/68 A

Fターム (12件)：

3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CX09 ,  3C007HT02 ,  3C007HT34 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA10 ,  5F031GA43 ,  5F031LA07 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ダブルアーム基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-351463   出願人：タツモ株式会社
• 基板搬送用ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381449   出願人：株式会社安川電機