特許

J-GLOBAL ID：200903075091680799

X線発生装置及び露光装置

発明者： 近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119629
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311200
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 光学素子の交換時間を短縮して装置稼動率を向上させることができる、あるいは、メンテナンスに要する時間や費用を削減できる等の利点を有するX線発生装置及びそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】 X線発生装置内の円盤10には、4枚あるいは6枚の多層膜放物面ミラー11が取り付けられており、これらは保護容器12内に収納されている。ミラー11の周囲には半導体レーザ及びフォトダイオードが配置されており、これらでミラー11の位置や傾きを検出する。X線検出器24から制御装置25の判定部27へX線量の低下検出信号が送出されると、指令部26がモータ15を駆動して円盤10を回動し、第1のミラー11-1のあった位置に新たなミラー11-2を設置する。装置全体のメンテナンスは、円盤10に取り付けた全てのミラーを使用し終えるまで不要である。

請求項（抜粋）：

X線源と、該X線源から輻射されるX線を受けて、そのうちの特定の波長のX線を反射する光学素子と、該光学素子を新たな光学素子と交換する交換手段と、を具備することを特徴とするX線発生装置。

IPC (8件)：

G21K 1/06 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/22 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/027 ,  H05G 2/00

FI (9件)：

G21K 1/06 N ,  G21K 1/06 P ,  G01B 21/00 A ,  G01B 21/22 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  G21K 7/00 ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (25件)：

2F069AA01 ,  2F069AA93 ,  2F069BB40 ,  2F069DD30 ,  2F069EE02 ,  2F069EE20 ,  2F069EE26 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG65 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AB11 ,  4C092AB13 ,  4C092AC20 ,  4C092BD11 ,  4C092BE10 ,  4C092DD03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB07 ,  5F046GC03