特許
J-GLOBAL ID：200903075092056029
圧力センサ及びこれを用いた流量計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013409
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229863
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 精度が良くかつ長期に渡ってその性能を維持し安価な圧力センサを提供すること。【構成】 流体の圧力により変形する膜板14を備え、この膜板14に生ずる歪により圧力検知を行なう圧力センサ13において、平板状に張設された振動薄板19と、両面に電極層21を有し前記振動薄板19の一面に貼り付けられた圧電セラミックス膜20とより前記膜板14を形成した。
請求項（抜粋）：
流体の圧力により変形する膜板を備え、この膜板に生ずる歪により圧力検知を行なう圧力センサにおいて、平板状に張設された振動薄板と、両面に電極層を有し前記振動薄板の一面に貼り付けられた圧電セラミックス膜とより前記膜板を形成したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/08
, G01F 1/20
, G01F 1/32
