特許

J-GLOBAL ID：200903075093928860

露光装置

発明者： 浅野 雅朗
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350782
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185615
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成用の露光装置であって、露光精度が確保でき、ワーク基板やフォトマスクに破損を生じないようにした露光装置を提供する。【解決手段】 フォトマスク13の両サイドを支えて上下させる部材に、フォトマスク13の下面のみを支える支持部材14を用いる。支持部材14とワーク基板11との相対位置が変化しても、フォトマスク13はワーク基板11の上に載っただけの状態になるので、両者の間に隙間が生じない状態で露光できる。また、ワーク基板11とフォトマスク13の間にフィルムを入れることにより、フィルムのクッション作用によりフォトマスク13に傷が付くのを防止できる。また、フォトマスク13をワーク基板11に押し付けるための透明押圧部材を設けることにより、両者の間に生じる隙間を無くして露光を行える。

請求項（抜粋）：

ワーク基板上に設けられたリブの少なくともその間に感光性の蛍光面形成層を形成し、ワーク基板とフォトマスクのアライメントをしてから、そのフォトマスクをワーク基板上に載置して露光を行い、現像、焼成して蛍光面を形成するプラズマディスプレイパネルの蛍光面形成工程にて使用される露光装置であって、フォトマスクの両サイドを支えて上下させる部材に、フォトマスクの下面のみを支える支持部材を用いたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01J 9/227 ,  G03F 9/00 ,  H01J 17/49

FI (3件)：

H01J 9/227 E ,  G03F 9/00 Z ,  H01J 17/49 Z