特許

J-GLOBAL ID：200903075099767044

薄型ワークの搬送ロボット

発明者： 加藤 克彦
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332077
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163090
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 遠く離れた位置にあるワークを搬送するとともに多機能に構成された搬送ロボットを提供すること。【解決手段】 ロボット1は機台3に対して回動可能なアーム体5とアーム体5の先端上方に配置されるハンド部9とを有して構成されている。アーム体5は下段から第アーム6・第2アーム7・第3アーム8を有し、第1アーム6と第2アーム7がそれぞれモータ61・65によって駆動される。さらにハンド部9には2個のハンドとワーク有無検出センサを有してモータによって第3アームに対して回動可能に配置されている。また、機台3上にはCCDセンサユニットと回転テーブルが機台3に昇降可能に配置され搬送されたワークをロボット1上で撮像してワークのアライメントを行なう。

請求項（抜粋）：

機台と、薄型ワークを支持するハンド部と、前記機台に回動可能に支持されるとともに前記ハンド部に連結され前記ハンド部を所定位置に移動するアーム体と、前記アーム体を屈伸可能に駆動する駆動部と、を有して構成される薄型ワークの搬送ロボットであって、前記アーム体が少なくとも3段に配置されたアームを有して屈伸可能に構成され、前記アームのうち少なくとも2個のアームがそれぞれの単独の駆動源により回動可能に構成されていることを特徴とする薄型ワークの搬送ロボット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 C