特許
J-GLOBAL ID：200903075109433700
静電アクチュエータおよびその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277894
公開番号（公開出願番号）：特開平8-140367
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 可動子と固定子間の摩擦を解消し、動作範囲を可及的に大きくすることを可能にする。【構成】 本体部10、20と、この本体部の対向する面上に形成される複数の電極11、12、21、22と、を各々備え、所定の隙間をもって対向配置された一対の固定子1、2と、一対の固定子1、2間に配置され、固定子1、2の電極11、12、21、22に所定の電圧パルスが印加されることにより一方の端部から他方の端部へと順次、一対の固定子1、2に交互に吸着されながら隙間を進行する可動子3と、を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
本体部と、この本体部の対向する面上に形成される複数の電極と、を各々備え、所定の隙間をもって対向配置された一対の固定子と、前記一対の固定子間に配置され、前記固定子の電極に所定の電圧パルスが印加されることにより一方の端部から他方の端部へと順次、前記一対の固定子に交互に吸着されながら前記隙間を進行する可動子と、を有することを特徴とする静電アクチュエータ。
引用特許：
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