特許

J-GLOBAL ID：200903075110016340

超清浄空気製造装置

発明者： 野島 康恵 ,  二見 賢一 ,  有川 彰浩
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289843
公開番号（公開出願番号）：特開平11-123316
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム内等へ供給される大気中に複合して存在する汚染化学物質、即ちガス状の中性物質、酸性ガス、アルカリガスを、粒子状物質と共に安全に効率よく一括で捕集・除去する装置を提供する。【解決手段】 化学物質を含む被処理空気2が導入される側から順に粒子濾過層4、光触媒保持層6、イオン交換繊維充填層7を有し、かつ該被処理空気を各層に順次通すための手段3を有することを特徴とする超清浄空気製造装置。

請求項（抜粋）：

化学物質を含む被処理空気が導入される側から順に粒子濾過層、光触媒保持層、イオン交換繊維充填層を有し、かつ該被処理空気を各層に順次通すための手段を有することを特徴とする超清浄空気製造装置。

IPC (5件)：

B01D 53/86 ,  B01D 46/00 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  F24F 7/06

FI (4件)：

B01D 53/36 J ,  B01D 46/00 Z ,  F24F 7/06 C ,  B01D 53/34 B