特許
J-GLOBAL ID：200903075113673694
感光性重合体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028741
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224418
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【構成】 (a)溶剤の存在下に芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコール及び/又は炭素数4以下の1価のアルコールの誘導体0.1〜1モルを加えて加熱し、四塩基酸二無水物の一部をジエステルとした後、芳香族ジアミン化合物0.8〜1.2モルを反応させて得られるポリイミド系樹脂前駆体100重量部、(b)炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物1〜400重量部ならびに(c)ビスアジド化合物0.1〜100重量部を含有してなる感光性重合体組成物。【効果】 本発明の感光性重合体組成物を用いることにより、配線段差の平坦化性と微細な溝状パターンの埋込性が良好で、従来の加工プロセスでパターン化可能なポリイミド膜が得られる。
請求項（抜粋）：
(a)溶剤の存在下に芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコール及び/又は炭素数4以下の1価のアルコールの誘導体0.1〜1モルを加えて加熱し、四塩基酸二無水物の一部をジエステルとした後、芳香族ジアミン化合物0.8〜1.2モルを反応させて得られるポリイミド系樹脂前駆体100重量部、(b)炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物1〜400重量部ならびに(c)ビスアジド化合物0.1〜100重量部を含有してなる感光性重合体組成物。
IPC (11件)：
G03F 7/038 504
, C08G 73/10 NTF
, C08K 5/17
, C08K 5/28
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/008
, G03F 7/027
, G03F 7/027 514
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, H05K 3/06
