特許
J-GLOBAL ID:200903075117336161
圧電アクチュエータ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-173841
公開番号(公開出願番号):特開平11-026829
出願日: 1997年06月30日
公開日(公表日): 1999年01月29日
要約:
【要約】【課題】一定の応力下で長期にわたる高速駆動する場合において、不活性部分の破損がなく、特性の安定した積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板10を電極を介して積層してなる積層体11の上下面に、それぞれ不活性体15、16を設けてなる圧電アクチュエータ23と、この圧電アクチュエータ23を収納する筒状の外装ケース体25と、該外装ケース体25の開口部を塞ぐ一対の金属キャップ29、31とを具備した圧電アクチュエータ装置であって、不活性体15、16の積層方向の外表面に球面状突部21を形成するとともに、一対の金属キャップ29、31に、不活性体15、16の球面状突部21と合致する球面状凹部27をそれぞれ形成してなるものである。
請求項(抜粋):
複数の圧電板を電極を介して積層してなる積層体の上下面に、それぞれ不活性体を設けてなる圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータを収納する筒状の外装ケース体と、該外装ケース体の開口部を塞ぐ一対の金属キャップとを具備してなる圧電アクチュエータ装置であって、前記不活性体の積層方向の外表面に球面状突部を形成するとともに、前記一対の金属キャップに、前記不活性体の球面状突部と合致する球面状凹部をそれぞれ形成してなることを特徴とする圧電アクチュエータ装置。
IPC (4件):
H01L 41/083
, F02M 51/06
, G02B 7/00
, H02N 2/00
FI (5件):
H01L 41/08 S
, F02M 51/06 N
, G02B 7/00 B
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 R
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