特許
J-GLOBAL ID：200903075118679593
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128260
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304999
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生する検出部を、耐薬品性を有する保護部材で被覆して保護するようにした圧力センサにおいて、低温環境にて、センサ特性の悪化を招くことなく、耐薬品性を向上させる。【解決手段】 保護部材51、52は、下層側の比較的高弾性な第1の保護部材51と上層側の比較的低弾性な第2の保護部材52との2層構造であり、第1の保護部材51はフッ素ゴムを母材とし、第2の保護部材52はフッ素ゲルを母材とし、各保護部材共、母材よりもガラス転移温度の低いフッ素系オイルを混合させることにより、保護部材51、52全体のガラス転移温度が母材のガラス転移温度よりも低下させられたものとなっている。
請求項（抜粋）：
圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生する検出部(20)を、耐薬品性を有する保護部材(51、52)で被覆して保護するようにした圧力センサにおいて、前記保護部材は、耐薬品性を有する母材に対しこの母材よりもガラス転移温度の低い材料を混合させることにより、前記保護部材全体のガラス転移温度が前記母材のガラス転移温度よりも低下させられたものより構成されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
G01L 9/04 101
, H01L 29/84 B
2F055AA22
, 2F055BB10
, 2F055CC02
, 2F055DD04
, 2F055EE14
, 2F055FF38
, 2F055GG25
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA14
, 4M112EA14
, 4M112FA05
, 4M112GA01
