特許
J-GLOBAL ID：200903075121955941
ドライエッチング装置用電極の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原崎 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-135871
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298190
出願日： 1996年05月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 エッチング用ガスをプラズマ化し被処理物のエッチングを行うドライエッチングにおいて、被処理物表面のパーティクル付着を低減する。【解決手段】 ドライエッチング装置用電極の片面を耐熱性150°C以上のコーティング材でコーティングする。
請求項（抜粋）：
ドライエッチング装置用電極の片面を耐熱性150°C以上のコーティング材でコーティングすることを特徴とするドライエッチング装置用電極の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 C
, C23F 4/00 A
