特許
J-GLOBAL ID:200903075128074789

ICテスト・システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内原 晋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-181487
公開番号(公開出願番号):特開平5-029405
出願日: 1991年07月23日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】選別工程でのハンドラによる派生の誤分類をなくし、さらに、各工程毎の派生の変化を確認すう。【構成】テスタから判定デバイス1の派生信号をハンドラへ送信し、ハンドラは複数の色の違うインク・マーカ2,3,4,5により、派生信号に応じたインク・マーカを選択し、デバイスのマーキング・エリア6にインク・マーキングを行う。
請求項(抜粋):
テスタから被判定デバイスの派生信号をハンドラへ送信し、該ハンドラは複数の色の違うインク・マーカより派生信号に応じたインク・マーカを選択し、前記被判定デバイスのマーキング・エリアにインク・マーキングを行うことを特徴とするICテスト・システム。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  H01L 23/00

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