特許

J-GLOBAL ID：200903075131552438

小型走査共焦点顕微鏡

発明者： ディヴィッド エル ディッケンシーツ ,  ゴードン エス キノ
出願人/特許権者： ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294997
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230248
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 マイクロ機械加工されて静電気的に作動する走査鏡とマイクロ機械加工されたバイナリレンズを使用した小型走査光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】 点光源として機能し且つ反射光を集光する光ファイバを含む走査光学顕微鏡が、開示されている。視野を走査するために光を走査させる走査機構と共に、光ファイバからの光を像平面上で合焦させて像平面から反射した光を集め、それを光ファイバ内に合焦させるレンズもまた、開示されている。

請求項（抜粋）：

点光源として機能する一方の端部を有する単一モード光ファイバと、該ファイバの前記一方の端部からの光を焦点面上の点上に合焦させると共に該点から反射される光を集光して光ファイバの端部上に前記光を合焦させるレンズと、を含む型の走査光学顕微鏡であって、ファイバからの光を受光して第一の方向に沿って光を走査させる第一のマイクロ機械加工走査鏡と、第一の鏡からの光を受光して該光を直交方向に走査させ、それにより、前記第一及び第二の方向に焦点面上の点を走査する第二のマイクロ機械加工走査鏡と、を含む、ことを特徴とする走査光学顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 101

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-087804
  
• 特表平5-506318
  
• 特開昭61-116324
  
• 特開平4-134303