特許
J-GLOBAL ID：200903075138477377
薄膜の形状計測方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-019748
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231023
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 検査者の個人差を伴うことなく、透明膜の形状計測を非破壊でかつ高速に行って、検査者の検査時間を短縮することができるとともに、検査者の手間を軽減することができる。【構成】 任意の形状を有する不透明層11と、該不透明層11上に形成した透明膜12とを有する被測定試料3の該透明膜表面の形状を計測する方法であって、ブリュースター角に設定したP偏光を利用して該不透明層11の下地形状を計測し、光の干渉現象を利用して該透明膜12の膜厚を計測した後、計測した該不透明層11の下地形状に計測した該透明膜12の膜厚を付加して該透明膜表面の形状を計測する。
請求項（抜粋）：
任意の形状を有する不透明層(11)と、該不透明層(11)上に形成した透明膜(12)とを有する被測定試料(3)の該透明膜(12)表面の形状を計測する方法であって、ブリュースター角に設定したP偏光を利用して該不透明層(11)の下地形状を計測し、光の干渉現象を利用して該透明膜(12)の膜厚を計測した後、計測した該不透明層(11)の下地形状に計測した該透明膜(12)の膜厚を付加して該透明膜表面の形状を計測することを特徴とする薄膜の形状計測方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G01J 9/00
