特許
J-GLOBAL ID：200903075139859559
検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101088
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292202
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 基板との温度差により、発熱体パターンに生ずる温度不均一をなくし、雰囲気の検出精度を向上する。【構成】 上面に薄膜抵抗体2を成膜した基板1の中央に空洞部3を設け、空洞上3に薄膜抵抗体2aと、発熱体パターン4と、発熱体パターン4の最外周から、更に外側に、コンタクト部6で接続された引き出し配線パターン5を支持部2bにより架橋したマイクロブリッジ構造の雰囲気センサとし、引き出し配線パターン5で挟まれた発熱体パターン4の温度は均一な温度分布で、発熱体パターン4の温度分布が不均一である結果、生ずる検出誤差を取り除く。
請求項（抜粋）：
発熱体パターンを含む薄膜層が、空洞部上に架橋支持又は片持支持された基板において、前記発熱体パターンの両端付近にそれぞれ接続された引き出し配線パターンを設け、該引き出し配線パターン間で信号を検出する構造としたことを特徴とする検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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