特許

J-GLOBAL ID：200903075144710571

透明基板上の表面検査装置

発明者： 坂本 繁
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241344
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 暗視野法を用いて被検査物のより高精度な検出を可能とし、かつ装置の小型軽量化が図れる透明基板上の表面検査装置を提供する。【解決手段】 本発明による透明基板上の表面検査装置1は、透明基板2上の被検査物Wを検査する透明基板上の表面検査装置において、透明基板2を概ね平行光で照明する照明手段10と、照明手段10から照明され、透明基板2を透過した光を反射する位置に配置された反射ミラー3と、反射ミラー3より反射された光を直接反射光L1と散乱光L2とに分離し、それぞれの反射方向を決定する光収束手段20と、直接反射光L1を外し、散乱光L2を取り込む位置に配置され、透明基板2を撮像する撮像手段30とを備える

請求項（抜粋）：

透明基板上の被検査物を検査する透明基板上の表面検査装置において、前記透明基板を概ね平行光で照明する照明手段と、前記照明手段から照明され、前記透明基板を透過した光を反射する位置に配置された反射ミラーと、前記反射ミラーより反射された光を直接反射光と散乱光とに分離し、それぞれの反射方向を決定する光収束手段と、前記直接反射光を外し、前記散乱光を取り込む位置に配置され、前記透明基板を撮像する撮像手段とを備えることを特徴とする透明基板上の表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/17 ,  G01N 1/02 ,  G01N 33/497

FI (3件)：

G01N 21/17 A ,  G01N 1/02 N ,  G01N 33/497 Z

Fターム (26件)：

2G045AA40 ,  2G045BA13 ,  2G045CB14 ,  2G045CB22 ,  2G045CB30 ,  2G045FA14 ,  2G045FA19 ,  2G045FB16 ,  2G045GC11 ,  2G045HA16 ,  2G045JA01 ,  2G045JA02 ,  2G045JA07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC11 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10