特許
J-GLOBAL ID：200903075146982811
樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法、並びに樹脂成形品及びチップ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-365147
公開番号（公開出願番号）：特開2004-195730
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】精密で安価な樹脂成形品の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の樹脂成形品は、(a)基板上へのレジスト層の形成、(b)マスクとレジスト層のギャップを設定、(c)マスクを用いたレジスト層の露光、(d)レジスト層の現像を行い、所望のレジストパターンを形成する、レジストパターン形成ステップと、前記レジストパターンにしたがって、前記基板上に金属構造体をメッキにより堆積させる金属構造体形成ステップと、前記金属構造体を型として、樹脂成形品を形成する成形品形成ステップによって製造される。マスクを用いたレジスト層の露光において、マスクとレジスト層の距離が1mm以下である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属構造体を形成するステップと、前記金属構造体を型として樹脂成形品を形成するステップとを有する樹脂成形品の製造方法であって、
前記金属構造体を形成するステップは、
基板上にレジスト層を形成するステップと、
マスクを用いて前記レジスト層を露光するステップであって、前記マスクと前記レジスト層との距離が実質的に1.0mm以下であるステップと、
前記露光されたレジスト層を現像処理し、レジストパターンを形成すステップと、
前記レジストパターンに従って、金属層をメッキにより堆積させるステップと、
を備えた樹脂成形品の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
4B029AA08
, 4B029AA23
, 4B029BB20
, 4B029CC01
, 4B029GA03
, 4B029GB09
, 4F202AH63
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CB29
, 4F202CD07
, 4F202CD14
, 4F202CD22
, 4F202CD30
, 4F202CK11
