被覆部を有するセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：沼形義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050013
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243413
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】各種センサにおいて、検知素子表面の汚れによる寿命低下を改善させる。【解決手段】半導体基板10上に複数の検知素子11を設けたセンサ1において、検知素子11を被覆部材15で被覆し、使用する検知素子の被覆部材を自動的に開放するようにした。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成された複数の検知素子を有する半導体センサにおいて、検知素子の表面を自動的に開放することができる被覆部材で覆ったことを特徴とするセンサ。

IPC (3件)：

G01D 21/00 , G01F 1/68 , G01L 9/12

FI (3件)：

G01D 21/00 G , G01F 1/68 , G01L 9/12

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