特許
J-GLOBAL ID：200903075151124556
干渉計測方法および干渉計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242228
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074618
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 波長を超える段差や絶対距離を含んだ形状の測定を高精度かつ高速に測定ミスを招くことなく行うことが可能な干渉計測方法および干渉計測装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源60A,60B,60Cは、3種類の波長のレーザ光を出射する。平面原器64で反射したレーザ光と測定対象面4aで反射したレーザ光とが干渉し、撮像管67A,67B,67Cは、各波長毎に干渉縞画像を個別に検出する。コンピュータ9は、3種類の波長から選んだ2つの波長を一組として一組の波長による合成波長が順次大きくなるように第1乃至第mの組を設定し、第1乃至第mの組に対応する2つの波長の干渉縞画像間の位相分布差に基づいて位相分布差の正負に応じた演算式を用いて平面原器64と測定対象面4aとの絶対距離の概略情報を順次演算し、1つの波長の位相分布に基づいて平面原器64と測定対象面4aとの絶対距離の精密情報を演算する。
請求項（抜粋）：
少なくとも3種類の波長の光波を基準面および測定対象面に照射し、前記基準面で反射した前記少なくとも3種類の波長の光波と前記測定対象面で反射あるいは透過した前記少なくとも3種類の波長の光波とを波長毎に干渉させる第1のステップと、前記第1のステップの干渉によって生じた少なくとも3種類の干渉縞画像を個別に検出する第2のステップと、前記少なくとも3種類の干渉縞画像に基づいて、前記測定対象面の2πの区間にラップされた少なくとも3種類の位相分布を波長毎に演算する第3のステップと、前記少なくとも3種類の波長から選んだ2つの波長を一組として前記一組の波長による合成波長が順次大きくなるように第1乃至第m(但し、m≧2)の組を設定する第4のステップと、前記第1乃至第mの組に対応する前記2つの波長の前記干渉縞画像間の位相分布差に基づいて、前記位相分布差の正負に応じた演算式を用いて第1乃至第mの組毎に前記第mから第1の組まで前記基準面と前記測定対象面との絶対距離の概略情報を順次演算する第5のステップと、前記少なくとも3種類の波長のうち1つの波長に対応する前記干渉縞画像の位相分布、および前記第1の組による前記絶対距離の概略情報に基づいて、前記基準面と前記測定対象面との絶対距離の精密情報を演算する第6のステップとを含むことを特徴とする干渉計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (29件)：
2F064AA09
, 2F064FF02
, 2F064GG20
, 2F064GG22
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064HH09
, 2F065AA04
, 2F065AA25
, 2F065AA45
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065GG23
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL20
, 2F065LL30
, 2F065MM07
, 2F065NN02
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065QQ31
