特許

J-GLOBAL ID：200903075155043640

支持装置

発明者： 板橋 勝利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109566
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304525
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】簡便な構成でありながら、被支持物の大きさが変わっても、支持装置を交換せずに容易に支持部材の支持位置の変更ができ、測定前の準備作業時間を削減できる支持装置を提供する。【解決手段】支持部材5を有する移動台6を、それぞれ駆動手段7に係合せしめ、前記移動台6の移動量を測長手段8によって読み取って駆動手段7にフィードバックして所望の位置に制御した後、移動台6を駆動手段9の移動部材7mに直接固定せず、位置決め手段によって移動台6を保持部材4に固定することにより、所望の位置に高精度に配置できる。

請求項（抜粋）：

基台と、前記基台上に配置され被支持物に当接して下から支持する支持部材とを具備する支持装置において、前記支持部材を設置した移動台を一軸方向で移動可能に保持する保持部材と、前記移動台を一軸方向に駆動させる駆動手段と、前記移動台を任意の位置に固定する位置決め手段と、前記移動台の移動量を測定する測長手段と、前記位置決め手段と前記測長手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする支持装置。

IPC (3件)：

G01B 21/00 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/00

FI (4件)：

G01B 21/00 L ,  G01B 21/00 C ,  G02B 7/02 C ,  G02B 7/00 F

Fターム (18件)：

2F069BB40 ,  2F069DD21 ,  2F069DD30 ,  2F069FF01 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069HH14 ,  2F069HH30 ,  2F069MM02 ,  2F069MM26 ,  2F069MM34 ,  2F069PP02 ,  2H043AE23 ,  2H044AC01