特許
J-GLOBAL ID：200903075157779783
限界電流式酸素センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130153
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326269
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 高濃度から低濃度まで広い濃度範囲にわたって酸素濃度測定が可能で、且つ大量生産に適した限界電流式酸素センサを提供する。【解決手段】 基板11上にカソード膜12、固体電解質膜13及びアノード膜14を順次積層し、固体電解質膜13を拡散律速層とする。アノード膜14はガス透過性を持たず、少なくとも一部に孔15が形成されている。この孔15を通して酸素ガスを固体電解質膜13へ流入させることにより、固体電解質膜13への流入ガス量を制限する。
請求項（抜粋）：
基板上にカソード膜、固体電解質膜及びアノード膜を順次積層し、前記固体電解質膜を拡散律速層とする酸素センサにおいて、前記アノード膜は、ガス透過性を持たず、少なくとも一部に孔が形成され、この孔を通して酸素ガスを前記固体電解質膜へ流入させることにより、前記固体電解質膜への流入ガス量を制限するものであることを特徴とする限界電流式酸素センサ。
FI (2件)：
G01N 27/46 325 Z
, G01N 27/46 325 L
