特許

J-GLOBAL ID：200903075165423513

窒化アルミニウム焼結体及びそれを用いた接合体

発明者： 蛭田 和幸 ,  高野 実 ,  宮井 明 ,  加藤 和男
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185849
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017236
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 従来に比べて信頼性に優れたパワーモジュール用基板等の回路基板の製造が可能となる窒化アルミニウム焼結体の提供。【構成】 窒化アルミニウムとアルミン酸イットリウムとを特定割合で含有してなる窒化アルミニウム焼結体及びそれと銅板との接合体。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムとアルミン酸イットリウムを構成相としてなり、次の(1)〜(3)の関係を有してなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。(1)アルミン酸イットリウムが3Y2O3・5Al2O3 とY2O3・Al2O3 からなること。(2)焼結体の厚み方向に5μmまでの範囲で除去した表面を粉末X線回折法にて測定した際、窒化アルミニウムの101 反射の強度I101 、3Y2O3・5Al2O3 の400 反射の強度I400 、及びY2O3・Al2O3 の121 反射の強度I121 の間に以下の関係があること。0.02≦I400 /I101 ≦0.18 及び 0.01 ≦I121 /I101 ≦0.45(3)焼結体の粉砕物の粉末X線回折法により測定した結果が以下の関係にあること。0.01≦I400 /I101 ≦0.06 、 0.02 ≦I121 /I101 ≦0.20 及び0.07≦(I400 /I101 )+(I121/I101 )≦0.21

IPC (2件)：

C04B 35/58 104 ,  H05K 1/03