特許
J-GLOBAL ID：200903075167219204
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185141
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030560
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 ハウジングとジョイントとコネクタケースとからなる圧力センサにおいて、部品点数を少なくすると供にセンサエレメントの気密な溶着固定を得る。【解決手段】 圧力検出空間に連通する内部空間14と上端に肉薄の立上部13を有する金属製性のハウジング10と、内部空間と内部空間を上下に分離する隔壁52と上端に肉薄の立上部53を有する円筒形の金属製のジョイント50と、絶縁性材料からなるコネクタケース90とを積み重ねそれぞれの立上部をかしめて一体化して得た内部空間に、圧力検出用のセンサエレメント20などを収容した圧力センサにおいて、ハウジング10に内部空間14の底部15に開口する流体導入孔12と該導入孔12の開口の周囲に設けた環状の突起16とを設け、センサエレメント20のヘッダ24の底面を突起16上に載置し両者を電気抵抗溶接して気密に溶着固定した。
請求項（抜粋）：
圧力検出空間に連通する内部空間と上端に肉薄の立上部を有する金属製のハウジングと、内部空間と内部空間を上下に分離する隔壁と上端に肉薄の立上部を有する円筒形の金属製のジョイントと、絶縁性材料からなるコネクタケースとからなり、ハウジングとジョイントとコネクタケースを積み重ね、それぞれの立上部をかしめて一体化して形成した内部空間に圧力検出用のセンサエレメントと電気回路とを収容した圧力センサにおいて、ハウジングは内部空間の底部に開口する圧力検出空間に連通する流体導入孔と、底部の圧力導入孔の開口の周囲に設けた環状の突起とを有し、センサエレメントは半導体基板に形成した圧力検出素子とガラス製の上部台座とシリコン製の下部台座と金属製のヘッダとを積み重ねて構成され、ジョイントは貫通コンデンサを嵌挿する開口を有し、前記センサエレメントのヘッダの底面を前記環状突起上に載置し両者を電気抵抗溶接して気密に溶着固定したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
G01L 9/04 101
, H01L 29/84 B
