特許
J-GLOBAL ID:200903075168253201

光起電力素子特性の測定装置、それを用いる測定法、機能素子の測定方法および測定装置、それを用いる太陽電池の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-171658
公開番号(公開出願番号):特開2004-022597
出願日: 2002年06月12日
公開日(公表日): 2004年01月22日
要約:
【課題】廉価な設備で、太陽電池などの大面積の機能素子を精度よく、しかも短いタクト時間を保持したままで測定することができ、生産コストを低減可能とする光起電力素子等の機能素子の測定法、測定装置および製造方法を提供する。【解決手段】光起電力素子の受光面の一部領域のみに光を照射することにより一部領域の電流・電圧特性と前記光起電力素子の温度を測定し(S100)、S100で測定した前記光起電力素子の温度を用いて、次の測定時刻における前記光起電力素子の温度および暗電流の電流・電圧特性を算出し(S110)、前記暗電流の電流・電圧特性を用い、さらに前記受光面の一部領域以外の領域に光を照射することにより、前記一部領域以外の領域の電流・電圧特性を測定(S120)することで、全領域の光起電力素子の電流・電圧特性(S130)および必要な特性値(S140)を測定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を光起電力素子に照射する照射手段と、前記光起電力素子の電圧・電流特性を測定する電圧・電流特性手段と、前記光起電力素子の温度を測定する温度測定手段と、前記電圧・電流特性に基づいて光起電力素子の特性を算出する算出手段と、を有する光起電力素子特性の測定装置であって、 前記光起電力素子の第一の領域に光を照射した状態および暗状態で、各電圧ごとに測定される電流に基づいて前記第一の領域における電圧・電流特性を測定し、並びに、前記光起電力素子の温度を測定し、 前記測定された温度に基づいて、次の測定時の温度並びに該温度における光起電力素子の暗状態における電流値を算出し、 前記算出された暗状態の電流値と、前記光起電力素子の前記第一の領域以外の領域に光を照射した状態で各電圧ごとに測定される電流とに基づいて前記第一の領域以外の領域における電圧・電流特性を測定し、 前記次の測定時の温度並びに該温度における光起電力素子の暗状態における電流値の算出、並びに、前記記第一の領域以外の領域の測定を、必要に応じて繰り返し行い、それらの測定結果から前記光起電力素子の全体領域における特性を算出することを特徴とする光起電力素子特性の測定装置。
IPC (2件):
H01L31/04 ,  G01R31/26
FI (3件):
H01L31/04 K ,  G01R31/26 F ,  G01R31/26 H
Fターム (16件):
2G003AA06 ,  2G003AB01 ,  2G003AB05 ,  2G003AC03 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  5F051AA05 ,  5F051BA12 ,  5F051BA14 ,  5F051CA14 ,  5F051DA04 ,  5F051FA04 ,  5F051GA02 ,  5F051KA09 ,  5F051KA10

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