特許

J-GLOBAL ID：200903075168567249

研磨布用樹脂組成物及び該組成物からなる研磨布

発明者： 竹村 潔
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-050882
公開番号（公開出願番号）：特開2004-256738
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】化学的機械的研磨法(CMP)の研磨工程で用いる研磨液に対する耐性が高く、研磨布表面への塵、埃等の付着が少なく、研磨時の被研磨物への汚染が極めて少ない研磨布用樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)ウレタン系弾性樹脂、(B)フェノキシ樹脂及び(C)ジメチルホルムアミドを含有する研磨布用樹脂組成物及び該組成物からなる研磨布。【効果】本発明の研磨布用樹脂組成物は、重金属等の不純物の含有量が少ないため、該組成物からなる研磨布を用いることによって、研磨工程における被研磨物の汚染が抑制でき、研磨布中の不純物がイオン化し、研磨液と反応することによる凝集物の生成も抑制できる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)ウレタン系弾性樹脂、 (B)フェノキシ樹脂及び (C)ジメチルホルムアミド を含有することを特徴とする研磨布用樹脂組成物。

IPC (5件)：

C08L75/04 ,  B05D7/00 ,  B24B37/00 ,  C08J5/14 ,  H01L21/304

FI (5件)：

C08L75/04 ,  B05D7/00 G ,  B24B37/00 C ,  C08J5/14 ,  H01L21/304 622F

Fターム (33件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4D075BB03Z ,  4D075CA03 ,  4D075CA09 ,  4D075CA44 ,  4D075DA04 ,  4D075DB20 ,  4D075DB40 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DC15 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA10 ,  4D075EB32 ,  4D075EB38 ,  4D075EC07 ,  4D075EC30 ,  4F071AA42 ,  4F071AA53 ,  4F071AF22 ,  4F071DA03 ,  4F071DA11 ,  4F071DA19 ,  4J002CD002 ,  4J002CK021 ,  4J002CK031 ,  4J002CK041 ,  4J002CK051 ,  4J002HA05