特許
J-GLOBAL ID：200903075168817350
金属酸化物のコーティング方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271303
公開番号（公開出願番号）：特開平10-101309
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：
【要約】【課題】 成膜装置、分析装置、加速器実験施設、重力波検出施設等の密閉容器である真空容器の内面及びガス配管内面に、短時間で緻密で滑らかな金属酸化物コーティングを可能とすることを目的とする。【解決手段】 先ず密閉容器2内の残存ガスを真空排気し、次に前記密閉容器2内に有機金属の飽和蒸気を導入して前記密閉容器2の内面に有機金属膜として吸着させ、その後、前記密閉容器2内に大気を導入し前記有機金属膜を加水分解により金属酸化物に変化させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
先ず密閉容器内の残存ガスを真空排気し、次に前記密閉容器内に有機金属の飽和蒸気を導入して前記密閉容器の内面に有機金属膜として吸着させ、その後、前記密閉容器内に大気を導入し前記有機金属膜を加水分解により金属酸化物に変化させることを特徴とする金属酸化物のコーティング方法。
IPC (5件)：
C01B 13/14
, B01J 19/00
, C01G 1/02
, C01G 23/04
, C01G 23/053
C01B 13/14 Z
, B01J 19/00 K
, C01G 1/02
, C01G 23/04 C
, C01G 23/053
