特許

J-GLOBAL ID：200903075172667959

ビーム軌道制御装置

発明者： 都築 直久
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277300
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】想定していない外乱に基づくビーム軌道のずれを高精度で補正する。【解決手段】予め設定された中心軌道を有するリング状の真空ダクト内で周回している荷電ビームのビーム軌道を制御するビーム軌道制御装置20。ビーム軌道の位置を表す信号を検出する位置センサS1〜Smおよび信号処理回路22a1〜22amと、ビーム軌道位置を計算する入力・位置計算部23と、ビーム軌道の中心軌道に対する補正量を計算する補正計算部24と、供給される電流に対応する磁場を中心軌道に直交する方向に発生する補正電磁石C1〜Cnと、補正量に対応する電流値を安定化する安定化処理部25と、安定化された電流値を補正電磁石C1〜Cnに供給して補正電磁石C1〜Cnの発生磁場を制御することにより、ビーム軌道をフィードバック制御して中心軌道に一致させる制御出力部26および電磁石電源27a1〜27anとを備える。

請求項（抜粋）：

予め設定された中心軌道を有するリング状の真空ダクト内で周回している荷電ビームのビーム軌道を制御するビーム軌道制御装置において、前記荷電ビームに基づいて前記ビーム軌道の位置を表す信号を検出する位置信号検出手段と、検出されたビーム軌道位置信号に応じて前記ビーム軌道と前記中心軌道との偏差を表すビーム軌道位置を計算するビーム軌道位置計算手段と、計算されたビーム軌道位置に応じて前記ビーム軌道の前記中心軌道に対する補正量を計算する補正量計算手段と、供給される電流に対応する磁場を前記中心軌道に直交する方向に発生する磁場発生手段と、前記補正量計算手段により計算された補正量に対応する電流値を安定化する安定化手段と、安定化された電流値を前記磁場発生手段に供給して当該磁場発生手段の発生磁場を制御することにより、前記ビーム軌道をフィードバック制御して前記中心軌道に一致させる磁場制御手段とを備えたことを特徴とするビーム軌道制御装置。

Fターム (4件)：

2G085AA13 ,  2G085BA12 ,  2G085CA02 ,  2G085CA20