特許
J-GLOBAL ID：200903075172991497
圧電薄膜デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-047822
公開番号（公開出願番号）：特開2007-228320
出願日： 2006年02月24日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】圧電薄膜デバイスの特性を向上する。【解決手段】4個の圧電薄膜共振子R11〜R14を含む圧電薄膜フィルタ1は、圧電薄膜フィルタ1のフィルタ機能を提供するフィルタ部11と、フィルタ部11を機械的に支持する平坦なベース基板13とを接着層12を介して接着した構造を有している。圧電薄膜フィルタ1では、圧電体薄膜111の非励振領域E1Xに形成されたキャビティ形成膜114を介して圧電体薄膜119をベース基板13に接着することにより、圧電体薄膜111の励振領域E11〜E14を無規制の状態で空中に保持し、励振領域E11〜E14の上面及び下面が他の部分と接することがないようにしている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
単数又は複数の圧電薄膜共振子を含む圧電薄膜デバイスであって、
圧電体薄膜と、
前記圧電体薄膜を含む所定の部材を支持する支持体と、
を備え、
前記圧電体薄膜の励振領域を無規制の状態で空中に保持していることを特徴とする圧電薄膜デバイス。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5J108AA07
, 5J108BB01
, 5J108BB02
, 5J108BB07
, 5J108CC11
, 5J108EE04
