特許

J-GLOBAL ID：200903075174968220

液晶装置の製造方法、及び蒸着基板の製造装置

発明者： 岡崎 剛史 ,  田中 孝昭
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383027
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186018
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 液晶装置の製造方法及び製造装置に関して、蒸着角を制御し、均一な配向膜を得る。【解決手段】 液晶装置の製造方法及び製造装置に関して、基板に対して斜め方向から無機化合物を蒸着して行う、液晶表示パネルの配向制御において、基板と蒸発源との間にスリットを設け、前記スリットに電界をかけることで蒸着角を制御し均一な配向膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

液晶を挟持する一対の基板のうち、少なくとも一方の前記基板に対して斜め方向から無機化合物を蒸着させる斜方蒸着によって前記基板に無機配向膜を形成する液晶装置の製造方法であって、前記無機化合物の蒸発源と前記基板との間にスリットを有するマスク遮蔽物を配置し、前記蒸発源の前記無機化合物を蒸発させるとともに前記マスク遮蔽物の前記スリットに設けられた電極に電圧を印加して、前記基板を前記マスク遮蔽物の前記スリット上で移動させることで前記基板に前記無機配向膜を形成することを特徴とする液晶装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1337 515 ,  C23C 14/24

FI (2件)：

G02F 1/1337 515 ,  C23C 14/24 S

Fターム (15件)：

2H090HA11 ,  2H090HB03Y ,  2H090HC01 ,  2H090HC18 ,  2H090KA04 ,  2H090MA06 ,  2H090MA07 ,  2H090MA10 ,  2H090MB06 ,  4K029BA46 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA15 ,  4K029DB21 ,  4K029HA03