特許
J-GLOBAL ID：200903075179970630
ピエゾバルブ駆動回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297960
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123373
出願日： 1992年10月11日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 直線性に富み安定に使用できるピエゾバルブ駆動回路を安価に提供すること。【構成】 ピエゾアクチュエータ1に対して、直流電圧と適当な周波数のパルス電圧または交流電圧とを重畳して印加するようにした。
請求項（抜粋）：
複数のピエゾ素子を積層してなるピエゾアクチュエータによって弁を開閉して流体の流量制御を行うピエゾバルブ駆動回路において、前記ピエゾアクチュエータに対して、直流電圧と適当な周波数のパルス電圧または交流電圧とを重畳して印加するようにしたことを特徴とするピエゾバルブ駆動回路。
引用特許：
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