試料表面の付着物検査システム,試料表面の付着物検査方法,試料表面の付着物除去システム,試料表面の付着物固着システム並びに試料表面の付着物処理システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉井剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147198
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】凹凸を有する試料表面であっても付着物を容易に検出でき、帯電電荷を効率良く除去して基板から付着物除去できる試料表面の付着物検査システム並びに付着物除去システム及び付着物固着システムを提供する。【解決手段】紫外線を固体および液体などの試料表面及び裏面を含むあらゆる角度から照射するための紫外線光源12を有し、紫外線を直接あるいはレンズ等によって集束させて試料に照射させる光学系13を有し、紫外線照射後に試料表面から輻射された蛍光強度の面内分布像を撮像機器等で記録する測定機構と、輻射された蛍光を顕微鏡を通して試料表面の局所的な場所から検出するための拡大機構を有し、輻射された蛍光光を分光器11に導入する光学機構13を備えており、これらの試料ステージおよび観察システムを精密にかつ広範囲に移動できる移動機構を備える。

請求項（抜粋）：

紫外線を固体および液体などの裏面を含む試料表面にあらゆる角度から照射するための紫外線光源を有し、紫外線を直接あるいはレンズ等によって集束させて試料に照射させる光学系を有し、紫外線照射後に試料表面から輻射された蛍光強度の面内分布像を撮像手段で記録する測定機構と、輻射された蛍光を顕微鏡を通して試料表面の局所的な場所から検出するための拡大機構を有し、輻射された蛍光光を分光器に導入する光学機構を備えており、これらの試料ステージ又は観察システムを精密にかつ広範囲に移動できる移動機構を備えたことを特徴とする試料表面の付着物検査システム。

Fターム (8件)：

2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051BA05 , 2G051CA04 , 2G051CB10 , 2G051DA17

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