特許
J-GLOBAL ID：200903075189985288
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082379
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 被検物の本来のパターンの密集度や形状等の条件によらずに欠陥のみを検出すると共に、ペリクルフレームに遮光されることなく欠陥検査を行う。【構成】 レチクル4に連続的に異なる方向から光ビームL9を照射する光源23と、レチクル4からの光を集光する受光レンズ30と、受光レンズ30のフーリエ変換面の近傍に配置され開口32A〜32Dが形成された遮光板31と、開口32A〜32Dの何れかを選択する遮光板33と、遮光板33を通過した光に比例する光量を光電変換する受光器41と、レチクル4の共役像を撮像する撮像装置39とを有する。
請求項（抜粋）：
被検物に検査用の光を照射して、前記被検物からの光により前記被検物の欠陥を検査する装置において、前記被検物に検査用の光を照射する光照射手段と、前記被検物と前記光照射手段との相対位置を変化させる移動手段と、前記被検物からの光を集光する集光光学系と、前記集光光学系による前記被検物のフーリエ変換面の近傍に配置され前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの一部の領域のみに対応する光を通過させる開口が形成された絞り手段と、該絞り手段で通過させる前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの領域を選択する選択手段と、前記絞り手段を通過した光に比例する光量を光電変換する光検出手段と、前記絞り手段を通過した光を逆フーリエ変換して前記被検物の共役像を結像する変換光学系と、前記共役像を撮像する撮像手段と、前記被検物の照明領域に応じて前記光照射手段から前記被検物に対する検査用の光の照射方向及び/又は照射角度と、前記選択手段で選択する前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの領域との少なくとも一方を指示する制御手段とを有する事を特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
