接合体およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084467
公開番号（公開出願番号）：特開平9-249465
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム部材と金属部材とを強固に接合し、特に窒化アルミニウム部材と金属部材との接合界面におけるアルミニウム合金ろうの収縮を防止し、接合界面の全面積に対する接合部分の面積の比率を向上させること。【解決手段】窒化アルミニウム部材1、金属部材2および部材1の接合面1bと金属部材3の接合面3aとの間に介在しているアルミニウム合金ろうのシート2を含む積層体22を、接合面に略垂直方向に向かって積層体22に対して加圧力を加えながら、アルミニウム合金ろうの液相線温度以下、固相線温度以上の温度で加熱することによって、窒化アルミニウム部材と金属部材とを接合する。好ましくは、積層体を、10kgf/cm2 以上、300kgf/cm2 以下の圧力て加圧する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム部材と金属部材との接合体であって、前記窒化アルミニウム部材、前記金属部材および前記窒化アルミニウム部材の接合面と前記金属部材の接合面との間に介在しているアルミニウム合金ろうのシートを含む積層体を、前記接合面に略垂直な方向に向かって前記積層体に加圧力を加えながら、前記アルミニウム合金ろうの液相線温度以下、固相線温度以上の温度で加熱することによって得られ、前記接合体において前記窒化アルミニウム部材と前記金属部材との間に前記アルミニウム合金ろうの成分からなる接合層が形成されていることを特徴とする、接合体。

IPC (3件)：

C04B 37/02 , B23K 1/19 , H01L 21/68

FI (6件)：

C04B 37/02 B , B23K 1/19 B , B23K 1/19 E , B23K 1/19 K , B23K 1/19 Z , H01L 21/68 N

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭56-026779
セラミックス焼結体の接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286599 出願人：三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (2件)

特開昭56-026779
セラミックス焼結体の接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286599 出願人：三菱マテリアル株式会社

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