特許
J-GLOBAL ID：200903075197225209
ダイヤモンド薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138687
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330987
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンドの堆積を堆積させる際の反応制御性の向上。【構成】 炭素原子Cと水素原子Hをそれぞれ別の供給源2,3より真空容器1内に供給して容器1内の基板4の表面にダイヤモンドを堆積させる。
請求項（抜粋）：
炭素原子と水素原子をそれぞれ別の供給源より真空容器内に供給して容器内の基板表面にダイヤモンドを堆積させるようにしたことを特徴とするダイヤモンド薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
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