特許

J-GLOBAL ID：200903075202351765

搬送システムの制御装置

発明者： 大塚 浩文 ,  有働 昌史
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-372026
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207335
出願日： 2002年12月24日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】複雑かつ多岐である搬送経路を移動する台車を効率的に移動させる。【解決手段】搬送設備制御装置11は、搬送元ステーションであるストッカ前移載ポイント6から搬送先ステーションである他のストッカ前移載ポイント6に半導体ウェハを搬送する台車7A〜7Cの搬送ルートを決定する装置である。この装置は、ストッカ前移載ポイント6と分岐ポイント3とのレイアウトに基づいて搬送元ステーションから搬送先ステーションへの搬送ルートを決定する決定回路と、決定回路に基づいて決定された搬送ルートにおける搬送の負荷量を算出する算出回路と、算出された負荷量が予め定められたしきい値を越えると渋滞情報を作成する作成回路と、台車7A〜7Cが分岐ポイント3に到着する度、到着した分岐ポイント3から搬送先ステーションまでの搬送経路を、渋滞情報を考慮して再設定する設定回路とを含む。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の分岐点と、前記分岐点どうしを接続する搬送経路と、前記分岐点の間に設けられたステーションと、出発ステーションから到着ステーションまで前記搬送経路を移動する複数の台車とを含む搬送システムにおいて、前記複数の台車の移動を制御する制御装置であって、 前記分岐点と前記ステーションとの位置関係を記憶するための第1の記憶手段と、 前記位置関係に基づいて、前記出発ステーションから前記到着ステーションまでの前記台車が移動する搬送経路を算出するための第1の算出手段と、 前記算出された搬送経路における搬送状態を表わす情報を作成するための作成手段と、 前記作成手段により作成された、複数の台車による搬送状態を表わす情報を記憶するための第2の記憶手段と、 前記台車が前記算出された搬送経路に含まれる分岐点に到着する度に、前記第2の記憶手段に記憶された情報に基づいて、前記到着した分岐点から前記到着ステーションまでの前記台車の搬送経路を算出するための第2の算出手段と、 前記第2の算出手段により算出された搬送経路における搬送状態を表わす情報を作成して、前記第2の記憶手段に記憶するように、前記作成手段および前記第2の記憶手段を制御するための制御手段とを含む、制御装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G1/00 ,  G05D1/02

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G1/00 501C ,  G05D1/02 G

Fターム (28件)：

3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022LL12 ,  3F022MM11 ,  3F022MM44 ,  3F022MM45 ,  3F022NN31 ,  3F022NN42 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031GA59 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA02 ,  5H301AA02 ,  5H301AA09 ,  5H301BB05 ,  5H301CC03 ,  5H301CC06 ,  5H301DD07 ,  5H301EE02