特許
J-GLOBAL ID：200903075207661517
シリコン単結晶引き上げ用石英ルツボ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169283
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 石英ガラスルツボ内側表面に結晶相を短時間で均一に生成させ、長時間の使用に耐える石英ガラスルツボを提供することを目的とする。【解決手段】 石英ガラスルツボの少なくともシリコン融液と接するルツボ内側表面において、表面から深さ0.01〜1mmの領域が、5〜90体積%のシリカの結晶質粒子と、該シリカの結晶質粒子間に少なくとも非晶質相を有してなることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用石英ルツボである。
請求項（抜粋）：
石英ガラスルツボの少なくともシリコン融液と接するルツボ内側表面において、表面から深さ0.01mm〜1mmの領域が、5〜90体積%のシリカの結晶質粒子と、該シリカの結晶質粒子間に少なくとも非晶質相を有してなることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用石英ルツボ。
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD01
