特許

J-GLOBAL ID：200903075225100719

検査装置および試料検査方法

発明者： 赤松 直俊 ,  江口 欣也 ,  勝本 正之 ,  土生 徹 ,  岩田 孝 ,  但馬 武
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141772
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325104
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 試料の特定部位について、その部位から脱離する物質を選択的に分析する検査装置、および、試料検査方法を提供すること。【解決手段】 遮蔽容器31により試料4の検査対象とする領域を外部雰囲気から遮蔽し、加熱用光源6により遮蔽された領域の特定部位に光ビーム52を照射して、試料4の該特定部位を加熱し、冷却濃縮部2により遮蔽容器31の内部に脱離した物質を捕集し、ガスクロマトグラフ81および質量分析計1により捕集された物質を分析する。

請求項（抜粋）：

試料の少なくとも一部について、その一部を外部雰囲気と隔離するための隔離容器と、試料を支持するための試料台と、試料の検査部位に、エネルギービームを照射するためのビーム源と、上記隔離容器内に脱離した物質を補集するための補集器と、上記捕集器に捕集された物質を分析するための分析装置とを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (8件)：

G01N 1/28 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/64 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/08 ,  G01N 30/12 ,  G11B 5/84 ,  H01L 21/66

FI (9件)：

G01N 1/28 T ,  G01N 27/62 B ,  G01N 27/64 B ,  G01N 30/06 G ,  G01N 30/08 ,  G01N 30/12 S ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 5/84 C ,  H01L 21/66 L