特許
J-GLOBAL ID：200903075227847412
斜めエツチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206299
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029283
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 ドライエチング方法において、所望の方向に傾斜した所望の形状のトレンチを所望の場所に容易にできるようにし、また、マスク寸法のバラツキが少なくなるようにする。【構成】 ドライエッチングにより被エッチング材に傾斜したトレンチを形成する斜めエッチング方法において、被エッチング材1上に、トレンチの開口部となる部分を挟んで、加熱流動性を示す第1のマスク材からなる第1のエッチングストッパ-層7bと、第1のマスク材からなる層7a上に第1のマスク材よりも加熱流動性の低い第2のマスク材からなる層8aが積層している第2のエッチングストッパ-層とを形成し、加熱により第1のエッチングストッパ-層7aを流動化させてその表面を傾斜させ、テーパ7cを形成し、これをマスクとしてドライエッチングする。
請求項（抜粋）：
ドライエッチングにより被エッチング材に傾斜したトレンチを形成する斜めエッチング方法において、被エッチング材上に、トレンチの開口部となる部分を挟んで、加熱流動性を示す第1のマスク材からなる第1のエッチングストッパ-層と、第1のマスク材からなる層上に第1のマスク材よりも加熱流動性の低い第2のマスク材からなる層が積層している第2のエッチングストッパ-層とを形成し、加熱により第1のエッチングストッパ-層を流動化させてその表面を傾斜させた後、ドライエッチングすることを特徴とする斜めエッチング方法。
IPC (2件)：
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