特許
J-GLOBAL ID:200903075227863485

スケール密閉型変位検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 實三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-155992
公開番号(公開出願番号):特開平9-005011
出願日: 1995年06月22日
公開日(公表日): 1997年01月10日
要約:
【要約】【目的】 耐環境性能を高くでき、使用場所の制限が少なく、取扱いも容易なスケール密閉型変位検出装置を提供すること。【構成】 スケール密閉型変位検出装置は、非磁性密閉容器14内に、スケール1、内部スライダ4、検出器5を密閉し、容器14の外部に配置された外部スライダ8と内部スライダ4との間に磁気回路10を形成して構成する。外部スライダ8の変位に伴い、磁気回路10によって内部スライダ4も追従するため、その相対変位量を検出器5で検出して外部スライダ8の変位を検出する。測長ユニット部分が密閉容器14内に密閉されているため、耐環境性能が高くなり、使用場所の制限が少なくかつ取扱いも容易となる。
請求項(抜粋):
スケールと、前記スケールに沿ってかつスケールに対して平行に移動可能な内部スライダと、前記スケールに対する内部スライダの相対変位量を検出する検出手段と、前記スケール、内部スライダおよび検出手段を密閉する非磁性密閉容器と、前記非磁性密閉容器の外部に配置されて前記スケールに沿ってかつスケールに対して平行に移動可能な外部スライダと、を備え、前記内部スライダおよび外部スライダ間には、外部スライダの移動に対して内部スライダを追従移動させる磁気回路が形成されていることを特徴とするスケール密閉型変位検出装置。
IPC (4件):
G01B 7/00 ,  G01B 21/02 ,  G01D 5/245 101 ,  G08C 17/00
FI (4件):
G01B 7/00 F ,  G01B 21/02 S ,  G01D 5/245 101 D ,  G08C 17/00 Z

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