特許
J-GLOBAL ID：200903075228411790
薄板円板状ワークの両面研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333264
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175144
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 薄板円板状ワークの両面を同時にかつ容易に研削でき、しかも小型化が可能な装置を提供する。【解決手段】 両面研削装置は、1対の研削砥石8、9と、ワークWの両面の加工面が研削砥石8、9の円形研削面に対向しかつワークWの外周の一部および中心cが研削面の外周の内側に位置するようにワークWを支持して自転させるワーク自転装置とを備えている。ワーク自転装置は、研削砥石8、9の間から外に出ているワークWの外周部を支持して回転する少なくとも3個の支持ローラ21、22を備えている。支持ローラ21、22は、第1ローラ部と第2ローラ部の端面間にワークWの外周部を挟んでワークWを径方向および軸方向に支持するものである。少なくとも1個の支持ローラ22が、ワークWを回転させる駆動ローラである。
請求項（抜粋）：
端面の円形研削面同志が対向するとともに軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させられる1対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面の加工面が前記1対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向するとともに前記ワークの外周の一部および中心が前記研削面の外周の内側に位置するように前記ワークを前記研削面の間に支持して自転させるためのワーク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段が、前記研削砥石の間から外に出ている前記ワークの外周部を支持して前記研削砥石の軸と平行な軸を中心に回転する少なくとも3個の支持ローラを備えており、前記各支持ローラが、軸方向に連続して形成された大径の第1ローラ部および小径の軸部、ならびに前記軸部に軸方向移動自在に取付けられて弾性部材により前記第1ローラ部側に付勢された大径の第2ローラ部を備え、前記第1および第2ローラ部の互いに対向する端面の少なくとも一方が凸状の円錐面であって、これらの端面間に前記ワークの外周部を挟んで前記ワークを径方向および軸方向に支持するようになされ、前記支持ローラの少なくとも1個が、前記ワークを回転させる駆動ローラであることを特徴とする薄板円板状ワークの両面研削装置。
IPC (2件)：
B24B 7/17
, H01L 21/304 321
B24B 7/17 Z
, H01L 21/304 321 E
